JEL-エッジグリップアライナ SAL20C1 (Edge-grip type wafer aligner)

http://www.jel-robot.co.jp/products/S...
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能です。

http://www.jel-robot.com/products/SAL...
Designed for aligning wafers in a production line or inspection line of semiconductor.  Edge grip type aligner minimizes the wafer contact.

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