EFEM(Equipment Front End Module)系統-鑫佑科技自製EFEM

#HIWIN晶圓移載系統 #EFEM #台灣製造
影片為鑫佑科技自製EFEM
EFEM(Equipment Front End Module)為半導體 Loader/Unloader ，可為不同晶圓尺寸提供設備前端上/下料之自動化模組。

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