NanoFocus µsprint: Vollautomatisierte Wafer-Inspektion
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6 سال پیش
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Die ideale Kombination aus hoher
Die ideale Kombination aus hoher Auflösung und schneller Messgeschwindigkeit für die vollautomatisierte 3D-Inspektion:
Insbesondere im Bereich der Qualitätssicherung und Prozesskontrolle bietet die μsprint-Technologie die ideale Kombination aus Auflösung und Geschwindigkeit. Durch die hohe Auflösung können Strukturhöhen bis zu einigen Mikrometern wiederholgenau erfasst werden.
Die μsprint-Technologie ist auf nahezu allen Oberflächen einsetzbar. Die große Dynamik des Sensors stellt die zuverlässige Detekt
6 سال پیش
در تاریخ 1397/05/16 منتشر شده
است.
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